摘要：一种应用于探头表面高温导电耐蚀Ti‑Nb‑Ta合金薄膜材料及其制备方法，属于金属材料表面改性和新材料技术领域。该合金薄膜材料包括Ti、Nb、Ta三种元素，其合金成分的原子百分比表达为Ti_x‑Nb_y‑Ta_1‑x‑y，其中，x＝97～98.4％，y＝0.8～1.5％；该材料成分设计依据团簇+链接原子的结构模型，结合键逾渗模型来完成。该Ti、Nb、Ta三元合金薄膜材料利用高真空多靶磁控溅射技术在基底表面制备。本发明制备方法简单、沉积速度快、生产效率高、成本低，制备得到的薄膜材料在高温下具有良好的耐腐蚀、耐氧化和导电性能，适用于加工技术领域。